超純水一般是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。超純水設備一般是由RO+EDI膜塊等核心部件組成，水處理的純度越高需要的部件越精密。

一套高端的超純水設備一般配件包括：

RO反滲透系統 其中主要包括阻垢劑加藥裝置，精密過濾器 ，高壓泵，反滲透膜殼，反滲透膜，高、低壓保護開關，管道流量計，進水電動慢開閥，沖洗電動閥，管路閥門系統，電導率儀，低壓電器件，設備機架。

EDI模塊EDI模塊由陰/陽電極板、陰/陽離子交換膜、陰/陽離子交換樹脂、濃水室流道、淡水室流道和極水室流道六部分組成。EDI去除水中鹽分主要分為強電離性離子遷移時段(高鹽分區(qū)域)和弱電離性物質電離時段(低鹽分區(qū)域)兩個階段。

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